电子能谱仪

    电子能谱仪 : 进行结构研究的一种仪器。利用一次粒子 束作为激发源激发出样品中的二次粒子, 研究二次粒子中电子部分能量分布的仪器 的总称。若一次粒子束是电子,除激发出 样品中的二次电子之外,本身会被样品中 的原子或分子所散射,其本身亦可作为测 量对象。这些电子随着能量的不同在数量 上有一个统计分布,将这个分布以能量为 纵坐标,计数率为横坐标,即得电子能谱图。 随着激发源及研究的二次电子来源的不 同,可分为:(1)X光电子能谱仪(X-PES, 亦称ESCA)。以X射线为激发源,获得 内、外层光电子能谱。对检测轻、重元素均 相当有效; (2)紫外光电子能谱仪(UVPES)。以紫外光线为激发源,由于紫外光 能量低,射线宽度窄,因此对激发价电子层 电子灵敏度强,分辨力高,能获得直接反映 分子特征的价电子层光电子能谱;(3)俄歇 (Auger)电子能谱仪(AES)。用电子射线 枪为激发源,研究俄歇电子获得的能谱,它 与X荧光仪相比,对检测原子序数小于 33以下的轻元素有较高的灵敏度。在表面 物化分析、分子结构鉴定、催化剂研究、新 材料研究,以及物理学、量子化学基础理论 研究等领域中,应用日益广泛。