电子探针

    电子探针 : 一种分 析仪器。其原理是利用聚焦的高能电子束 轰击固体表面,使被轰击区的元素激发出 特征X射线,按其波长及强度进行定性或 定量分析。主要用来分析固体表面微区的 化学成分。可分析原子序数3到92号之 间的元素。分析面积小至1平方微米。此 外,利用电子束轰击试样所产生的其他信 息可进行形貌观察和结构分析等。广泛应 用于地质、冶金、材料研究等部门。