高纯乙硅烷

    高纯乙硅烷 : Si₂H₆,沸点-14.3℃,熔点-132.5℃,是一 种无腐蚀性的微毒气体,对水和酸稳定,遇 碱分解成硅酸盐和氢,在碱金属作用下分解 成硅烷和氢。在空气中能自燃而生成二氧化 硅和水。
制备时采用硅烷原料气、经质量流量计 进入放电管,在适当温度、频率和电压下生 成含一定量乙硅烷、甲烷和氢的混合气,混 合气在不同的冷阱进行吸收,杂质被排出,可 得高纯乙硅烷。
本品可用于太阳能电池生产,分子束外 延和离子注入等技术。在太阳能电池生产上 用乙硅烷比用硅烷在非晶硅片上的沉积速度 快许多倍,且温度可降低200～300℃。在离 子注入中用乙硅烷作离子源后易起辉、束流 强,效果明显好于用其他气体作离子源。