高纯砷烷

    高纯砷烷 : ASH₃纯度 99.995%,在常温常压下有大蒜气味,为剧 毒可燃气体,在空气中易燃烧、发生爆炸。
一般由As与Zn合成生成As₂Zn₃,然后 与H₂SO₄反应生成ZnSO₄和AsH₃,再经纯 化、液化而得。该品在半导体工业中用于外 延,n型掺杂、扩散和离子注入工艺,以及磷 砷化镓薄膜的生产。