高纯氯化氢

    高纯氯化氢 : HCl,纯度99.995%,在常温常压下为具有刺 激性臭味的无色有毒气体,在空气中最高允 许浓度为5×10^-6。一般以98%～99%的工 业氯化氢为原料气,经冷冻除水后再经常温 吸附器、低温吸附器及中压吸附器吸附,进 入精馏塔精馏,再次低温吸附,冷凝后得 99.995%产品。
高纯氯化氢主要用于半导体制备工艺中 的外延、热氧化、扩散、蚀刻、CVD等工序, 还可用于发光二级管、激光器和光导纤维的 生产。