高纯磷烷

    高纯磷烷 : PH₃,纯 度99.999%,在常温常压下有令人讨厌的大 蒜和臭鱼味,为无色有毒气体。在空气中能 燃烧,水能助其燃烧,与卤素气体反应激烈。 微溶于水,易溶于乙醇、乙醚。爆炸界限 1.3%～98%,致毒允许浓度3×10^-7。
用亚磷酸热解得粗磷烷,再经分级冷冻、 蒸馏、吸附干燥可得99.999%产品。该品可 用于缩合催化剂、聚合引发剂,杀虫剂等,也 可用于半导体生产中的外延生长、扩散、离 子注入、蚀刻、化学气相沉积工艺。