高纯氨

    高纯氨 : NH₃,纯度 99.999%,在常温常压下为具有特殊刺激性 恶臭的无色有毒气体。在常温下稳定,但在 高温下可分解为氢和氮,在空气中的允许浓 度为5×10^-5。
制备高纯氨可以99%的工业氨作原料 气,经三级吸附器除去粗氨中的油、水及部 分碳氢化合物,再在精馏塔内进行两次精馏, 除去氮、氢、氧等低沸点杂质,再经第四级 吸附器进一步除去剩余的水即得99.999% 的高纯氨。
本品主要用于集成电路制造工艺中的低 压化学气相沉积法制备多晶硅和氮化硅薄 膜、氧化和等离子刻蚀等工艺。