电子束抗蚀剂

    电子束抗蚀剂 : 用 电子束辐照的抗蚀剂可制出比1μm还细的 线条,片子可不用掩模直接制作并实现高度 自动化。电子束抗蚀剂主要由具有线型链的 聚合物组成,对电子束辐照导致两种类型的 相互作用: 化学键断裂和辐射诱发的大分子 链交联。在化学键断裂或链被切断时,聚合 物分子量便减小,若平均分子量被减小到足 够小,就能在溶剂中溶解,而对未受辐照的 高分子量区域并不发生作用,能发生断链的 聚合物称为正性电子束抗蚀剂,其代表品种 是聚甲基丙烯酸甲酯。聚合物与电子束之间 的第二种作用是辐射诱发的大分子交联产生 随机的三维结构,其分子量高于未被辐照的 区域。交联现象处于支配地位的聚合物称为 负性电子束抗蚀剂。显影同样地也是将低分 子量区域溶解而形成图形。丙烯酸缩水甘油 酯和丙烯酸乙酯的共聚物是一种常见的负性 电子束抗蚀剂。